第280章 檢驗 (上)(2 / 2)

一套除塵流程下來足足花掉了接近一小時,然後梁遠三人才被允許進入到實驗車間。

港基集電的生產車間普遍選擇米『色』基調,連設備的塗裝都是米『色』『色』係,隻不過和周圍環境深淺不同而已。

兩個丫頭對梁遠搞出來的東西極度的好奇,小心翼翼的跟在梁遠身後,眼神靈動的看來看去。

由於實驗的緣故,車間裏成群的物料小車都已經停掉,隻剩下一台看起來孤零零的白『色』光刻機停在車間的一側。

“小遠,這次我們能不能看到晶片是怎麽生產出來”

由於采用全密封服裝的緣故,梁遠頭套耳機裏的聲音有些失真,也分不出來究竟是哪個丫頭在說話。

“光刻機的生產原理和照相類似屬於短暫曝光啊,被人類看見了就是曝光過度還怎麽生產晶片”

梁遠笑著回了一句。

問話的寧婉嘉有點不好意思的吐了吐小舌,不過因為防塵頭套的緣故也沒人看見。

“大少,都準備好了,是不是開始實驗”

梁遠吃飯和消毒的這段功夫,王欣等人已經把輕水灌進了工作台上的容器,晶圓也塗好了光刻膠放進了輕水之中。

目前港基集電所使用的光刻膠,雖然沒針對防水這個屬『性』進行過優化設計,不過光刻膠從原料屬『性』上屬於樹脂的一種本身就具備一定的防水特『性』。

光刻之後的顯影工序本身就需要用純水衝洗顯影『液』,因此隻要不選用遇水溶解的光分解型光刻膠,短暫的實驗『性』生產光刻膠應該不影響晶片的最終成品,當然,這些都是技術大佬三人組理論上的預想,最終如何還需要實際行動來驗證。

“好,開始吧。”

“大少你來按啟動按鈕吧。”

“不用了,不用了,誰離得近誰按,要不是有點心急,我都不來這裏湊熱鬧了。”

最終,站在光刻機旁邊的聶曉天按下了設備的工作健。

港基集電目前的光刻機大概能有七八立方米大小,設備近似於一個超大的黑箱,晶片曝光時的過程肉眼根本看不見,設備工作更沒什麽聲響,雖然晶片和航天都是人類的尖端科技,但論起視覺效果這兩者簡直天差地別。

由於不需要把整個晶圓的麵積全部生產利用上,光刻機曝光了十次就停止了工作,在電機的推動下工作台緩緩的從光刻機中退出,開始把晶圓向後續工藝推送。

曝光之後是顯影,顯影之後是堅膜,再之後工藝進入了檢測程序,這步工藝是對晶圓的顯影結果進行檢測,合格的晶圓進入後續的刻蝕等流程,不合格的晶圓在清洗後進入最初流程重新來過。

不過對於實驗室中的眾人來說,檢測這一步幾乎就足夠判定新方法的生死了,在電子顯微鏡下成與不成一目了然。

梁遠是啥都不懂,隻能看著王欣坐在檢測設備前通過電子顯微鏡觀察著剛剛出爐不久的晶圓。