想要進入研究院的車間。
那複雜程度不亞於西天取經。
防護服得穿上。
然後風吹，將身上的塵埃都吹掉。
在經過紫外線照射等等環節。
從準備到進入，差不多要花上一個多小時。
沒辦法，光刻機對於室內清潔度要求實在是太高了。
光刻機說白了就是通過一係列的光源能量、形態約束，將光束投射到畫有電路圖的掩膜。
再經過光學補償，將電路圖成比例縮小投射到矽晶片，最後通過化學方法顯影，得到刻在矽晶片上的電路圖。
如此，光刻機在工作中最重要的當然是光了。
光在哪裏傳播呢？自然是空氣。
這也就是為什麼光刻機的工作環境要求非常高的潔淨度。
哪怕是一點灰塵，都能將生產出來的芯片直接報廢。
現在91年，光刻機的精密度還沒有那麼高。
這台從阿斯麥過來的機器，還遠遠沒有達到後世的7納米，甚至5納米。
所以，對車間的要求在當下看起來是非常高，但自己人還是能搞一搞。
等到後世就壞菜了。
光刻機的精密度提高，對環境的要求更加苛刻和變態。
在國際上通用標準來說，手術室的要求的環境是ISO5級。
這也是常人能接觸到最幹淨的環境了。
但是，芯片生產因為特別精細。
極其微小的雜質都會影響產品的質量。
所以，在後世，生產芯片的車間竟然要求ISO1級或者ISO2級的最高水平！
也就是每立方米的空氣中，超過0.1UM大小的雜質，不能超過100粒。
這是什麼概念？
打個比方說：如果西湖裏麵裝滿純淨水，你往裏麵撒一把鹽，它就不合格了！
很是恐怖的要求！
簡直讓人無法想象，這麼高要求，你靠人工打掃肯定是不行的。
人類每分鍾會掉900多塊死皮。
450個以上的細菌。
滴一滴汗，就會報廢一批芯片！
注意是一批！而不是一個！
所以，芯片廠的自動化要求特別高，人反而是累贅。
能用機器的地方就不用人。
廠房裏麵還需要不間斷的吹風。
一邊吹一邊過濾，確保完全無塵。
而這種吹風過濾的機器，叫風機過濾機組。
這種機組，隻有老美和島國才能生產出來。
這也是武長風讓霍家齊去往島國購買的空氣淨化設備的緣由。
就連過濾用的濾紙，在後世都沒有國產能夠替代。
在芯片生產這個流程裏麵，類似這樣的細節還有很多。
這不僅僅是環境的要求，還有更多的注意事項，簡直就是讓人頭皮發麻。
進入車間後。
霍家齊陪在武長風身邊，一邊介紹，一邊說道：“為了啟動這玩意，咱們花了不少時間，但時間反而是不值錢的。”
“花錢最多的就是購買各種原材料。”
武長風點點頭：“不要急，慢慢來，你要知道，現在能買到，這都是高光時刻了。”
霍家齊有點懵逼，啥意思？
以後還買不到了？
這讓霍家齊無法理解。
但他也沒多想，隻要有老板武長風在，一切問題都能解決。
老板就是這麼一個創造奇跡的人。
隨後，霍家齊展現了自己專業，紮實的基本功。
指著光刻機部件一一介紹道：
“老板，我們這是半自動設備，對準可以通過電動軸根據CCD的進行定位調諧。”
“這是紫外光源，曝光係統最核心的部件之一。”
“這個是對準係統，采用的全氣動軸承設計專利技術，有效避免軸承機械摩擦所帶來的工藝誤差。”
“這裏是工件台，顧名思義就是放工件的平台，光刻工藝最主要的工件就是掩模和基片。”
“工件台為光刻機的一個關鍵，由掩模樣片整體運動台（XY）、掩模樣片相對運動台（XY）、轉動台、樣片調平機構、樣片調焦機構、承片台、掩模夾、抽拉掩模台組成。
“其中，樣片調平機構包括球座和半球。調平過程中首先對球座和半球通上壓力空氣，再通過調焦手輪，使球座、半球、樣片向上運動，使樣片與掩模相靠而找平樣片，然後對二位三通電磁閥將球座和半球切換為真空進行鎖緊而保持調平狀態。”
“樣片調焦機構由調焦手輪、杠杆機構和上升直線導軌等組成，調平上升過程初步調焦，調平完成鎖緊球氣浮後，樣片和掩模之間會產生一定的間隙，因此必須進行微調焦。”
“另一方麵，調平完成進行對準，必須分離一定的對準間隙，也需要進行微調焦。”
“抽拉掩模台主要用於快速上下片，由燕尾導軌、定位擋塊和鎖緊手輪組成。”