第250章 我要造光刻機(1 / 2)

光刻機的原理說起來並不難,在加工芯片的過程中,光刻機通過一係列的光源能量、形狀控製手段,將光束透射過畫著線路圖的掩模,經物鏡補償各種光學誤差,將線路圖成比例縮小後映射到矽片上,然後使用化學方法顯影,得到刻在矽片上的電路圖。

一般的光刻工藝要經曆矽片表麵清洗烘幹、塗底、旋塗光刻膠、軟烘、對準曝光、後烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序。經過一次光刻的芯片可以繼續塗膠、曝光。

越複雜的芯片,線路圖的層數越多,也需要更精密的曝光控製過程。

測量台、曝光台:是承載矽片的工作台。

激光器:也就是光源,光刻機核心設備之一。

光束矯正器:矯正光束入射方向,讓激光束盡量平行。

能量控製器:控製最終照射到矽片上的能量,曝光不足或過足都會嚴重影響成像質量。

光束形狀設置:設置光束為圓型、環型等不同形狀,不同的光束狀態有不同的光學特性。

遮光器:在不需要曝光的時候,阻止光束照射到矽片。

能量探測器:檢測光束最終入射能量是否符合曝光要求,並反饋給能量控製器進行調整。

掩模版:一塊在內部刻著線路設計圖的玻璃板,貴的要數十萬美元。

掩膜台:承載掩模版運動的設備,運動控製精度是nm級的。

物鏡:物鏡用來補償光學誤差,並將線路圖等比例縮小。

矽片:用矽晶製成的圓片。矽片有多種尺寸,尺寸越大,產率越高。題外話,由於矽片是圓的,所以需要在矽片上剪一個缺口來確認矽片的坐標係,根據缺口的形狀不同分為兩種,分別叫flat、notch。

內部封閉框架、減振器:將工作台與外部環境隔離,保持水平,減少外界振動幹擾,並維持穩定的溫度、壓力。

這些需求其實華夏國內都可以做出來,但華夏做不出高端光刻機需要的精密元件,原材料的起點上華夏就輸了。

精密才是光刻機真正的難點所在,許多精密元件不是你想仿製就能仿製得出來的,那往往需要一整條工業鏈條的支撐,需要高端的原材料打底。

退一萬步說,哪怕你能仿製出來,如果跳不出其中的專利壁壘,用了別人的專利就得付費,私自用別人的馨香,別人如果不授權給你,還能告得你傾家蕩產。

所以最後還是得給人卡脖子。

蘇方寧這次沒有抬杠,而是很認真的思考著這個可能,她平時可以嘲諷華漢星,罵華漢星花心蘿卜,罵他朝三暮四,有時候是真罵,有時候那隻是情人間的一種玩笑式的交流方式。

但在這種事關國家技術命運的大事上,她並沒有嘲笑這個男人,讀取了這個男人的部分記憶後她明白這個男人的焦慮和心中的狂熱。

出生於七十年代未八十年代初的華漢星,成長的記憶正是眼看華夏被西方諸國欺負卻無能為力的深刻記憶。

萬安灘對峙華夏為了地區平穩、華夏平穩選擇的退卻。

大使館被炸,顧全大局的忍氣吞聲。

撞機事件的烈士犧牲的悲痛。

外國人的指手畫腳。

那一聲聲無力的嚴正抗議。