第1474章加一層水
於是，林致遠，黃秘書再加上韓所長夫妻，還有司機，五個人就在附近找了家飯店，點了幾個菜。
席間，韓所長繼續講他的光刻機技術，當他講到目前世界上步進掃描光刻機采取的技術路線都是幹式法，通過用更高級的曝光光源，來支撐技術進步到下一代。為了追求更高的分辨率，光源波長從最初的365nm，到248nm，再到193nm，但再往下走時，這條技術路徑出現了困難。大部分企業選擇了在原有技術路徑上改進，此時的兩大光刻機巨頭尼康、佳能，都選擇進一步研發157nm波長的光源。
韓所長說到這裏裏，林致遠突然深吸了一口氣，做出了一副不解的神態，“韓所長，我是門外漢，但是我有個問題，當然，這個問題可能是非常幼稚的，您可別笑話我。”
韓所長手一擺，“林助理，科學就是要大膽假設，小心求證，沒有想象力，科學就沒辦法前行，你有什麼問題就直說，我怎麼會笑話你呢！”
林致遠小心翼翼的開口了，“韓所長，我們在初中物理課上都學過，水會影響光的折射率，如果在您剛才說的步進掃描光刻機的透鏡和矽片之間加一層水，就會降低光的波長，韓所長，你覺得這個方法可行嗎？”
“加一層水？”韓所長整個人似乎都傻掉了，他不停的重複這四個字。
韓所長已經完全陷入到一種極度亢奮的狀態中，他旁若無人在飯店裏踱起步來，越走越快，嘴裏還在不停的念叨著，“林助理，你知道摩爾定律嗎？”
不等林致遠回答，他便自己說了下去，“摩爾定律就是集成電路上可容納的元器件的數量每隔18至24個月就會增加一倍（相應的芯片製程也會不斷縮小）。而每一次製程前進，也會帶來一次芯片性能性能的飛躍。”
“可是全世界的半導體研發團隊都在157納米波長技術前停滯不前，摩爾定律開始被人懷疑，你剛才說的很有可能由此繼續將摩爾定律延續下去。這是一個偉大的猜想，不行，我等不急了，我要馬上回去做實驗。”韓所長轉身就往外走，可是一隻腳已經踏出飯店了，他又回過頭，尷尬的一笑，“一高興把什麼都忘了，咱們沒有實驗室，沒有相應的設備沒辦法做這個實驗。”
他低下頭繼續自言自語，“一定有辦法的，我必須要把這個天才的猜想變成事實。”
2002年，一位華裔林姓科學家發明了“浸潤式微影技術”，徹底改變了集成電路的生產。這項技術是在透鏡和矽片表麵的間隙中，用水代替空氣以提高分辨率。當全世界的半導體研發團隊都在專注於157納米波長技術時，林姓科學家創造性地以193納米波長的光，通過水作為介質，將其縮短至134納米，由此繼續將摩爾定律延續下去。
但理論歸理論，能不能從實驗室真正到工廠，還需要經驗豐富的設備商一起開發。林姓科學家去花旗國、東桑國、德意誌、風車國跑了一大圈，向光刻機廠商兜售浸沒式光刻的想法。但是，絕大部分大廠都不買賬。
不買賬的原因除了這項技術走得太“鬼才”，還有不少想法需要驗證之外，另一個原因就是改變的沉沒成本太高。當時主流的研發思路，都是在157nm的幹式光刻技術路徑上。諸多公司已經耗費了大量財力、人力、物力，如果用這種“加水”的想法，各個研究團隊就得全部重新開始，推翻原有的大部分設計。