製造一台極紫外光刻機，就是在挑戰人類工業文明的極限。
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在聽到清大唐教授團隊居然能研發出穩定的極紫外光源的時候，曹陽是肉眼可見的興奮。
因為這件事情真的太偉大了，意味著曹老板並沒有白活這一輩子，他也沒有白投入芯片領域的發展，現在能推動解決三個難題當中的一個就已經非常了不起了。
所以曹陽趕緊給張如京答複說自己一定要去參觀。
……
唐教授的實驗室並不是很大，在外麵擺放著許多的電腦，然後裏麵的隔間有一麵是透明玻璃，在實驗室當中擺放著許多的設備，曹陽根本叫不上名字，通過一些奇形怪狀的線串聯起來。
曹陽在外麵看著這一切，覺得真的是很神奇。
他前世打交道最多的是電腦，還很少接觸物理實驗室什麼的，隻有在劉強他們的硬件製造部門才能看到類似的高科技研發場景。
唐教授帶領大家參觀著，然後給他們做著介紹和科普，讓曹陽他們簡單了解一些實驗室當中的極紫外光光源是怎麼做出來的。
博米公司也算是團隊最大的金主了，為了推進國內的芯片事業，博米沒少下本錢。
不過這種事情本來就是需要大量的金錢和時間堆出來的，早堆早好。
晚堆帶來的代價更高。
前世國內的光刻機總是被卡脖子，其實有人才的原因，也有時間的原因，更多的也是資金投入不足的原因。
很多資本都希望能在短期內獲得回報，關鍵是光刻機的研發注定是一個非常燒錢的過程，而且在短期內很難看到回報，加上一些騙經費的事情發生，國內熱衷於此的企業和單位就更少了。
不過這一世曹陽對芯片領域非常看重，把關也極其嚴格，入股中芯國際以後，就在花大價錢推動相關的光刻機發展。
早發展總是更好的，因為這玩意兒靠外國肯定靠不住，最後還是要走出自己的道路才行。
觀察了一會兒，曹陽興奮地問到，“極紫外光要怎麼才能觀察到呢？”
“隻能通過儀器。”
唐教授笑著解釋說，“一般人的眼睛可以感知的電磁波的頻率在380~750THz，波長在780～400nm之間，但還有一些人能夠感知到頻率大約在340~790THz，波長大約在880～380nm之間的電磁波。
而極紫外光的波長在121納米到10納米之間，所以我們平常用肉眼肯定是看不見的。”
“而且，最好不要直視它，這會對眼睛造成不可逆的傷害。”
……
“曹總，你來看。”
唐教授把曹陽請到自己的電腦麵前，讓自己的學生操作了一下儀器設備。
很快在電腦屏幕當中出現了一組新繪製的圖譜。
“波長為1，064nm的水平偏振激光脈衝，這種極光脈衝半峰全寬大概是10ns，能量約50mJ，被發射到周期為0.125m總長4m的平麵波蕩器中，在這裏與計量光源MLS存儲環中存儲的電子束共同傳播。
在傳播過程中，由於波蕩器間隙滿足共振條件，激光-電子能量交換能夠最大程度進行，使得電子束產生正弦能量調製圖案。
在周長為48m的準同步存儲環中旋轉一圈後，電子向同步相聚集，最終形成微束。來自電子束的波蕩器輻射之後通過二向色鏡分離為基波和二次諧波，信號則主要集中在二次諧波上。
在光電探測器前插入一個窄帶通濾波器，即可拾取到由微束產生的窄帶相幹輻射。”
很好。
到後麵曹陽已經聽不懂他在說些什麼了。
不愧是專業搞這個。
曹陽其實隻關心一個問題，那就是——
“我們能做出這個極紫外光源穩定嗎？它能夠用來進行光刻製造芯片嗎？”
“理論上是可行的。”唐教授點點頭，“不過我們現在還處於基礎的起步階段，隻是將光源通過實驗的形式製造出來，可相應的成本還是比較高的，想要將成本降低下來，可能還需要有一段時間。”
“您預期需要多久？”曹陽問到。
“嗯……短的話3、5年，長的話8、9年，但是肯定能把成本壓下來，而且我們會完善相應的設備，製造出更穩定而且功效更高的極紫外光源。”
從理論上來說，現在唐教授采用的這種微態光聚束，能產生的光的波長比荷蘭那邊AMSL製作的光刻機光源更短，更短的光源有好處也有壞處。
好處就在於能夠製造出精細度更高的芯片，比如未來的3nm芯片，甚至是2nm芯片都能用這個來進行製作。
壞處就在於，光有光源還不夠，需要有一係列配套的設備。
比如說光學元件，高精度的加工機床，還有各種各樣的製作流程使用設備等等，這些都是短板，需要一個一個被攻克才行的難題。
不過，隻要能邁出第一步，曹陽就基本上能看到未來再向自己招手了。
……
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