超覺靜默起源於古印度哲學瑜伽（yoga）學派。瑜伽術也有許多門派，超覺靜默是以心理鍛煉為中心的心理自控療法，其要點是端正姿勢，調控呼吸，閉目安神，內視自己，控製感覺，把意識集中於一點，逐漸進入萬念皆空的境界。
全套超覺靜默法分三個連續進行的階段，即靜坐、調整呼吸和默念“真言”。
第一步是調整姿勢，其基本姿勢是靜坐。傳統的靜坐方式是“結跏趺坐”，但此種方式較難掌握。現在可以采用“穩坐”姿勢，即盤腿而坐，此種靜坐也被用來強身治病。首先使左腿彎曲，腳尖的一半插入右大腿的下邊，然後再使右腿彎曲，插入左腿腿肚下邊。為了保持上身正直，可以坐在一個厚坐墊上。雙目輕閉，下頜稍微內收，麵向正前方，兩肩自然下垂，兩手掌輕輕放在大腿的中央位置，手指並攏，手腕放鬆。
第二步是調整呼吸，即所謂“調息”。根據呼吸係統功能接受“隨意神經”和“自主神經”雙重支配的特點，調息可以通過“自主神經”，調整內髒器官和大腦。開始是自然呼吸（胸式呼吸），慢慢練深呼吸（腹式呼吸）。先盡量慢慢鼓肚子，深深地吸一大口氣，接著再慢慢地癟肚子，把氣緩慢地吐出來，如此反複練習。經長期鍛煉後，呼吸次數可以逐漸減少。剛開始1 分鍾十幾次，以後減到7 ～8 次，最少的可以減到5～6次。調息要慢慢練習，不要急於求成。堅持鍛煉，功到自然成。為了排除雜念，集中精神，可以應用“數息法”，即默數呼吸次數。練習腹式呼吸，同時數息，心身結合，效果最好，可以達到萬念俱空，大腦像晴空一樣清澈明快。
第三步默念具有真理性的“真言”，這是最後一個步驟。默念真言時，要繼續原來平緩的腹式呼吸，但自動停止數息。這時的腹式呼吸比數息時稍淺、稍輕。
默念真言時，雙手抬起，在體前正中央處搭在一起，右手在下，左手在上，拇指抬高，右手拇指指甲頂在左手拇指指肚上部。佛教徒在作超覺靜默時，采用的真言是“南無妙法蓮華經”。我們的目的在於運用超覺靜默強身治病，應當選擇有益於心身健康的真言，如采用《黃帝內經?素問》中“誌意和，則精神專注，魂魄不散，五髒不受邪矣”和“精神內守，病安從來”真言；或者采用當代人們更易理解的真言：“放鬆，入靜可以防治疾病。”原則是，選擇的真言應是真實的代表人們的願望、信念和經過努力能夠促使其成功的座右銘。
生理學研究指出，超覺靜默的過程和身體積累壓抑的過程恰恰相反，壓抑導致心率增高，呼吸加快，血壓升高和精神激動；超覺靜默則降低心率，減慢呼吸，降低血壓，導致全身鬆弛。在超覺靜坐的過程中，氧氣的消耗量迅速降低，故可大大減少入睡時間，使失眠徹底消除。此外，超覺靜默對於各種心身疾病，如高血壓、冠心病、潰瘍病等的治療也有明顯的效果。