程德全在上海避居七年，波濤見慣，塵念漸釋，皈依佛門，潛心誦經禮佛，自稱“素園居士”。可是，久居上海鬧市，已覺不適。便常到蘇州、常州一帶憩息。蘇州城外寒山寺，曾是程撫蘇時常去的古園林佳景，撫蘇時曾主持維修，有程的“古寒山寺”等墨跡留存。舊地重遊，別有一番感慨。民國九年（1920年），程德全在常州天寧寺治開大和尚座下受五戒，為優婆塞戒，接著又受菩薩戒，成為佛門在家居士。1926年，長老給程德全取名寂照，又名先慧。程德全用這個名字剃度到木瀆鎮的法雲庵隱居，並擔任了法雲庵主持。
法雲庵建於明代天啟年間，庵內有兩棵槐樹，年代久遠，甚為古老。清朝詩人吳溥寫有一首法雲古鬆詩：“何年高挺兩虯枝，鬱作慈雲蔭古姿。夜靜濤色誰領得，山僧出定四更時。”其庵其鬆，自然也成為木瀆古鎮的十景之一。
程德全住在這景色秀麗、環境優雅的所在，青燈古佛之旁，也不免凡心怦動，積習難改，自己寫了一篇法雲庵碑記，詳述沿革。這還不說，又特地邀請“木瀆小誌”作者張壬士和袁光裕到法雲庵會晤。清談終日，不能忘懷，留下了一首詩：“蒼鬆曆久等煙消，古寺還憑江岸描。居士雪樓曾小隱，扁舟一葉應嘉招。”似乎他的隱居，並未真正如他的法名那樣，好像仍在等著煙消呢。
民國十八年（1929年），程德全因患嚴重的風濕關節炎，辭去了主持職務，不得不再回到上海求醫，住愛文義路遷善裏96號。民國十九年（1930年）春，程德全又感風寒染疾，日漸沉屙，於民國十九年五月初二（1930年5月29日）去世，終年70歲。臨終前遺命以僧衣入殮，應蘇州各界人士之請，歸葬蘇州。五月十九日（6月15日），程德全靈柩運抵蘇州。此前蘇州城內寶積寺已為其舉辦過超度法會。此日便安葬在蘇州半畝橋西南，離寒山寺約三華裏的周巷（今獅山大橋之西），背靠獅子山，麵朝大運河，風水極好。抗日戰爭勝利後，其親屬遵照程德全生前意願，開墳收殮骨殖。到1965年4月11日，將遺骸安放在靈岩山寺的塔院內。
值得一提的是，在程德全患病期間，有一次黃炎培去看程德全。程德全對黃炎培說：中國是五族一家，但其中的藏族人民受英國壓迫，極度痛苦。我因病自知無法痊愈，你還年輕，必須解決這一問題。”另一件事也值得一提，程德全去世之後，蘇州人民不忘其恩惠，先在蘇州寶積寺召開了程德全追思會。就在這個莊嚴肅穆的場合，寶山人袁希洛，就是那個後來曾言要到延安絕食抗議內戰的人，以“機關炮”的方式開炮了。說：程德全簡直就是我們這個時代的完人，是民國的第二個完人（第一個是孫中山），因為程德全對民國有功無過，且程德全還有功不居，急流勇退，民國政治人物如果都像程德全那樣，這十九年來，還會有民不聊生、幹戈擾攘嗎？這樣的講話，倒嚇得到場的人，如省府委員陳藹士、羅郜子等不敢多說，隻有張仲仁動了真感情，老淚橫流。人們評論說，兩人的感情不至於有如斯之深，或別有感懷也。所以，有人評說程德全潛心禮佛這是種表麵現象。此言一出，真是值得世人深思。
應當說程德全脫離政爭之後，雖然晚景清冷，但也不乏生命中的亮點。程德全去世之後蘇州人民又給以厚愛，可說是功德圓滿。那麼，程德全就沒什麼遺憾嗎？倒也不盡然。程德全也有一件終生憾事：還是在江蘇巡撫任上，程德全差一點逼死了自己掌上明珠般寵愛的小女兒。程德全有四兒一女，女兒從小也讀了幾年書，思想也很開明。她同一位嫂子感情很好，這位嫂子厭倦了死板的官衙內室生活，看上了府中一個下人。由於自己不會寫字，求小姑代她寫一封情書給心上人，小姑也就滿足了嫂子的願望，替嫂子寫了一封感情曖昧之類的情書。這在當時被認為是大逆不道的，當然，也瞞不過大老爺程德全。程德全暴跳如雷，立刻將兩個女人關了起來，命心腹下人在外把門窗釘死，強逼姑嫂兩人自盡或餓死，門口停著兩口冰冷的棺材。媳婦自知犯了彌天大罪，又連累了小姑，遂上吊而死。夫人苦苦哀求放女兒一條生路，然而程德全是家長，也是封建道德的衛道士，仍不為所動。最後，夫人宣布和女兒一道絕食，才救下了女兒。程德全對寶貝女兒也是舍不得殺的。但醜事決不能讓外人知道。於是，姑嫂兩具棺材同時出喪了，其中一具是空的。