（1）加工精度的影響因素。加工精度主要包括尺寸精度、形狀精度等。一般尺寸精度可控製在0.02～0.05毫米範圍內。其影響因素除了機床精度外，主要有工具製造精度及磨損、磨料粒度、加工深度以及被加工材料性質等。
各種因素的影響狀況如下所述：①工具製造或安裝偏心或不對稱時，加工將產生偏振，使加工精度降低。②利用真空抽吸法或內衝法供給磨料懸浮液，可以提高加工精度，尤其能減少錐度；外澆法隻適用於一般的超聲波加工。③加工深度增加，工具損耗也增加，精度下降。④當采用240#～280#磨料時（磨粒尺寸為63～40微米），精度可達±0.05毫米；采用W28～W7時（磨粒尺寸為28～5微米），精度可達±0.02毫米或更高。⑤加工圓孔時，形狀誤差主要是圓度和錐度誤差。圓度誤差的大小與工具橫向振動大小和工具沿圓周磨損的不均勻程度有關。錐度大小與工具磨損和加工深度有關。采用工具或工件旋轉的方法，可以減少圓度誤差。
（2）表麵質量的影響因素。超聲波加工具有較好的表麵質量，不會產生表麵燒傷和表麵變質層。表麵粗糙度也較好，一般可達到Ra1～0.1微米，主要取決於磨料粒度、被加工材料性質、工具振動的振幅、工作液性能等因素。當磨粒尺寸較小、工件材料硬度較大、工具振幅小時，加工表麵粗糙度將得到改善，但加工速度也隨之下降。工作液的性能對表麵粗糙度影響比較複雜。實踐表明，用煤油或潤滑油代替水可使表麵粗糙度有所改善。