此能遍計的心與所遍計的境，皆依他起，而心緣境時，於觸緣所緣之中，妄執實有我法自計，此即名為遍計所執。此所妄計的我法等類，隻不過是迷情所現的虛妄相，但有假名無有實體。如《大智度論》說：“謂隨言說依假名言，建立自性。”《唯識三十頌》說：“由彼彼遍計，遍計種種物，此遍計所執，自性無所有。”如黑暗中見繩，誤以為是蛇，此蛇畢竟不存在，不過是恐怖心中所現的妄相，無有實體，是情有理無。
2.依他起性：梵文Para?tantra?Svabhāva。又作依他起相、緣起自性、因緣法體自相相。即指由各種緣所生起之法。因為是“緣合則生，緣盡則滅”之法，故如虛如幻，而非固定永遠不變之實在，故說“如幻假有”、“假有實無”，然此並非遍計所執而有之迷情，而係借種種助緣而生者，亦即離妄情而自存之“理有情無”。依者依托，他者眾緣，起者生也。色心諸法依托眾緣而生起，故名依他起。諸法皆因緣所生故，唯是無實性的假法，故實有假無。如了知為繩，蛇覺不存。《唯識三十頌》雲：“依他起自性，分別眾緣生。”所謂分別，即虛妄分別，雜染諸法皆依他起。故此依他起性乃屬有為之法，在五位百法中，除六無為法外，其他九十四法皆攝於此性之中。
依他起性又可分為染分、淨分二種：（1）染分依他，指虛妄分別之緣而生起的有漏雜染之諸法。（2）淨分依他，指依聖智之緣而生起的無漏純淨之法。其中，若就別義而言，淨分依地亦攝唯識三性之第三“圓成實性”中，故此中唯說染分依他。
3.圓成實性：梵文Parinis·panna。又作圓成實相、圓成自性、第一義諦體性。依他起性的真實之體（真如）乃遍滿一切法（圓滿）、不生不滅（成就）、體性真實（真實）者，故稱名為“圓成實”。故圓成實性就具有這三種性質：（1）圓滿，諸法之相僅局限於其自身之法體，不通餘處；相對於此，真如之妙理則可周遍四處。（2）成就，諸法具有空、無常、無我等共相；而真如之實體常住，無生滅作用。（3）真實，諸法之體虛妄不真；而真如之性常住遍通。
為解釋圓成實性，又設有二門：（1）常無常門，“常”為圓成實之名，“無常”則攝於依他起性而不離生滅。（2）漏無漏門，“無漏”為圓成實之名，“有漏”則攝於依他起性而不顛倒。《唯識三十頌》雲：“圓成實於彼，常遠離前性。”前性即是前麵的遍計所執性，此圓成實性於諸法上常遠離眾生的虛妄執著。如分析繩，了知為麻，繩覺亦滅。百法中的六個無為法，都是圓成實性。無漏有為是清淨的依他起，圓成實性具足的三種性質，故為“真空妙有”；又此性僅能由覺悟真理智慧而得知，故為“理有情無”。
以上三性具有不即不離之關係。唯識學經典中常以蛇、繩、麻三物為喻，則愚人（能遍計）於黑暗中見繩，信以為真蛇（實我相之遍計所執性），遂心生恐怖；後經覺者（佛、菩薩）教示，而知非蛇（生空），僅為似蛇之繩（指依他起性之假有）。且更進一步了解實際所執之繩（實法相之遍計所執性）亦不具實體之意義（法空），其本質為麻（圓成實性）；繩（依他起性）僅為因緣假合，由麻而成之形態。
針對三性而建立“三無性”說。三無性，梵文trividhānih·svabhāvata。乃根據佛之密意所立，即基於三性之說，又恐眾生執有，故顯示三性各具空義。又作三種無自性、三無自性、三種無性。據《成唯識論》卷九，三無性即：
1.相無性：梵文laks·an·a?nih·svabhāvata。全稱為相無自性性，或稱諸法無自體相。此係就遍計所執性而論空者。蓋遍計所執之法，乃所謂情有理無，雖在迷情上為有，唯是當情所現之相而已。猶如龜毛兔角，於實理上，其體相乃屬空無。《解深密經》雲：“由假名安為相，非由自相安立為相，是故說無相自性。”故名相無自性。
2.生無性：梵文utpatti?nihsvabhāvata。亦作無生性、諸法無生體性、生無自性。是依依他起性而立。生，緣生之義；依他起性之法由因緣和合而生，為假有之法，實無自性。或謂生乃自然生，即外道凡夫妄執於諸法自然而生，為明示依眾緣和合而生實無自性，故稱名生無自性。《解深密經》雲：“此由依他緣力故，非自然有，是故說無生性。”《成唯識論》卷九亦雲：“依他立生無性，如幻事托眾緣生，無如妄執自然性，故假說生無自性，非性全無。”