雖然梁遠一本正經的編著心靈雞湯，可葡萄汽水這個名詞一出口，小會議室還是響起了低低的笑聲，寧婉菲的葡萄口味汽水在遠嘉已經成了很著名的“梗”。
“哈哈哈，別笑～，開會呢～。”
梁遠自己也笑場了。
“葡萄汽水還是有用的，人一進入到微醺狀態，看東西的視界難免會扭曲變化有些失真～”
梁遠巴拉巴拉的把自己看磁懸浮膠囊列車的光斑投影，在湖麵寬窄變化進而聯想到液體折射和光刻機鏡頭的事情聯係了起來。
牛頓之前，無數人被東西砸了腦袋也沒發現萬有引力，梁土豪之前，無數的酒鬼醉眼迷離也沒想到光刻機的線寬，梁遠自己覺得這鍋雞湯燉得還是蠻有格調的。
“你們說，如果把晶圓丟在水裏光刻是不是有助於增大NA值～。”
梁遠假模假樣的問了一句。
除了特別極端條件，物理定律肯定是不會變的，晶圓丟水裏當然會變相增大鏡頭的NA值。
“臥艸！”
技術大佬三人組都被驚嚇了，劉飛揚和聶曉天甚至連不符合社會期待都語氣助詞都沒憋住。
王欣徹底的一副世界變化這麼大，好像忽然見了鬼的模樣。
小會議室裏一片寂靜，也不知過了多久，王欣喃喃的說道：“大少，我是徹底相信你是被賺錢耽擱了的科學天才了。”
劉飛揚小小的“呃”了一聲，把差點脫口而出的大少是真有吉祥物屬性的話硬生生的咽了回去。
昨晚劉飛揚和聶曉天應酬完方偉林一行人，兩人結伴回家時還笑言港基集電有吉祥物屬性的大少，193納米光源壁壘肯定得我們追上來才能突破，哪成想隻是回家睡了一覺，第二天梁遠就直接爆種了。
鏡頭上加水這玩意一旦捅破了後邊差不多是一馬平川，對於技術大佬三人組隨便拿張紙就能算出來這東西的前景。
水的折射率是1.44，港基集電目前營運的晶圓生產線線寬是5微米，如果像梁遠所言的直接在水裏光刻都不用變動光刻機的鏡頭組數和更換新光源，直接就能把線寬變成3.5微米。
“大少這個想法簡直天才～”
“十年之前，幹式蝕刻和濕式蝕刻就有過路線之爭，結果幹式蝕刻把濕式蝕刻給淘汰了，沒想到換了個思路濕式居然又複活了。”
“老聶，你這話可不準，形象點說幹式蝕刻和濕式蝕刻是衝洗，和大少這個完全是兩碼事。”
光刻機、蝕刻機都是晶圓生產線的核心設備，由於晶圓生產的技術原理起源於相機，因此可以近似的把光刻機看成拍攝，蝕刻機看成衝洗，加工完成的晶圓就是相片。
七十年代中期，主流蝕刻機對經過光刻機曝光之後晶圓都是采用液體化學溶劑衝洗光刻膠，因此也叫濕式蝕刻，七十年代末八十年代初，東洋尼康采用氣體衝洗的幹式蝕刻機研製成熟，隻用了幾年的時間就淘汰了操作複雜腐蝕汙染嚴重的濕式蝕刻。
可惜，整整二十多年，整個東洋也沒人想到把濕式工藝挪移到上一個生產環節。
一般來說，浸入式光刻機有三種技術路線：
第一種是噴淋法，顧名思義就是把水噴到晶圓上然後再迅速帶走，常見的噴淋法工藝是在鏡頭的一側設置一個超精密噴嘴，隨著鏡頭加工運動把水噴到鏡頭下方，然後從鏡頭的另一側把水吸走。
這個方法對超精密加工能力和計算機控製能力要求極高，在鏡頭下方的工作區穩定的建立起那層超薄水膜不比生產光刻機簡單到哪去，如果精密加工和精密控製的能力不行，會導致晶圓邊緣的曝光很差，嚴重影響晶圓生產線的良品率。
不過噴淋法最大的優點就是能完整的利用現有設備，可以說這套噴水和吸水的設備完全獨立於晶圓生產線，隻和光刻鏡頭聯動，進行晶圓生產線技術升級時難度和改建成本都極低。
第二種叫浴缸法，這個方法和梁遠剛剛說的靈感類似，就是把整片晶圓都丟在水裏，裝晶圓的容器→浴缸隨著晶圓工作台移動。
這種方法的好處是工程上的技術難度較低，不會對晶圓生產線的良品率造成負麵影響，不過缺點是要對現有的晶圓生產線做較大的改動，必須研製全新的能在水中工作的光刻膠，必須對晶圓工作台加以改進，而且由於晶圓工作台上增加了水的重量，晶圓生產線的生產節拍也會隨之改變，相比噴淋法晶圓生產線的生產效率會有一定幅度的下降。
第三種叫泳池法，就是把整個光刻程序都丟進水裏來完成，這種方法雖然能最大化的減少線寬，不過在水中操作相當於重新研發一套晶圓生產體係，無論工程難度還是經濟成本都雙雙過高。
新世紀之後，浸入式光刻機的國際主流路線采用了噴淋法，不過以港基集電目前的實力來說，第二種浴缸法才是最合適的，新世紀之後尼康和艾斯摩爾之所以選了噴淋法路線，一個是兩家精密加工和精密控製的水準高沒門檻，另一個是國際上現存的光刻設備大部分都是這倆家賣的，當然是升級成本越低升級方式越簡單越好。