法治是古代西方文明的產物，西方法治思想的源頭又在古希臘。“法治”這一術語，最早由古希臘雅典七賢之一的畢達庫斯提出，是古希臘政治家和思想家用來表達政治主張的一個中心概念。亞裏士多德是最早對“法治”這一概念進行定義的人。他認為，“法治”應當包括兩重含義：已成立的法律獲得普遍的服從；而大家所服從的法律又應該是製定的良好的法律。亞裏士多德的法治思想經過古羅馬時期與歐洲中世紀教會法和世俗法的豐富與發展，直接影響了近現代西方法治原則的形成。
近代法治原則以英國憲法學家戴雪的表達較為係統，戴雪寫道：構成憲法基本原則的所謂“法治”有三層含義，或者說可以從三個不同的角度來看。首先，法治意味著與專橫權力的影響相對，正規的法律至高無上或居於主導，並且排除政府方麵的專擅、特權乃至寬泛的自由裁量權的存在。其次，法治意味著法律麵前的平等，或者，意味著所有的階層平等地服從由普通的法院執掌的國土上的普通的法律；此一意義上的“法治”排除這樣的觀念，即官員或另類人可以不承擔服從管治著其他公民的法律的義務，或者說可以不受普通審判機構的管轄。……作為其他一些國家所謂的“行政法”之底蘊的觀念是，涉及政府或其雇員的事務或訟爭是超越民事法院管轄範圍的，並且必須由特殊的和或多或少官方的機構來處理。這樣的觀念確實與我們的傳統和習慣根本相忤。最後，法治可以用作一種表述事實的語式，這種事實是，作為在外國自然地構成一部憲法典的規則，我們已有的憲法性法律不是個人權利的來源，而是其結果，並且由法院來界定和實施；要言之，通過法院和議會的行動，我們已有的私法原則得以延伸至決定王室及其官吏的地位；因此，憲法乃國內普通法律之結果。
戴雪之後，則有富勒、哈特、拉茲、菲尼斯、德沃金等現當代西方法學家各自提出了自己的法治理論。富勒圍繞法律與道德的關係，細致考察了法律的內在道德，將之歸結為八項具體要求：①法律的一般性；②法律必須被公布；③法律不得溯及既往；④法律的清晰性；⑤法律體係應保持協調一致，避免自相矛盾；⑥法律不能要求不可能之事；⑦法律應保持在時間之流中的連續性；⑧官方行動與公布的規則之間的一致性。
拉茲提出了自己關於法治的基本觀點，認為“法治”的字麵意思是法律的統治。從廣義上看，它意味著人們應當遵守法律並接受法律的統治；但政治和法律理論均在狹義上解讀法治，即政府受法律的統治並尊重它。從這一觀點出發，法治包含有以下重要的原則：①所有法律都應當可預期、公開且明確；②法律應當相對穩定；③特別法（尤其是法律指令）應受到公開、穩定、明確和一般規則的指導；④司法獨立應予保證；⑤自然正義的原則必須遵守；⑥法院應對其他原則的實施有審查權；⑦法庭應當是易被人接近的；⑧不應容許預防犯罪的機構利用自由裁量權歪曲法律。拉茲認為以上列舉的八項原則可以分為兩組：原則①至③要求法律應當符合規定的標準以便能有效的指引行為；原則④至⑧用來確保執法設施不應通過歪曲執法來剝奪法律本身指引行為的能力，它們應當有能力監督服從法治並且當出現違法情況時提供有效的矯正。
英國著名法學家威廉·韋德從依法行政的角度提出法治的四層含義：①政府依法辦事；②政府根據公認的、限製自由裁量權的一整套規則和原則辦事；③由獨立的法官組成的普通法院對政府的行為進行司法審查；④法律平等地對待政府和公民。當代美國最有影響的法社會學家塞爾茨尼克認為，法治是一個包含著評估和批評法律決定的各種標準的一個複雜的理想，其基本要素是用公民秩序的理性原則限製官員的權力。法治的中心是減少專斷，而減少專斷又需要法的形式正義和實體正義的統一。