與傳統證據相同，電子證據也必須經過一個嚴格的審查判斷過程，找出他們與案件事實之間的客觀聯係，分析證據材料的證據能力和證明力，從而正確認定案件事實。一般來件，審查判斷證據材料從審查證據的關聯性、合法性和真實性三個方麵入手。即審查判斷電子證據是否與案件具有客觀的、內在的聯係；證據的取得是否符合法律、法規、司法解釋和規章的要求；是否具有客觀真實性。其中真實性的判斷是證據審查中的難點和關鍵。
（一）對電子證據真實性的審查
對證據真實性的審查一般可以從形成證據的原因，發現證據的客觀環境，證據是否為原件、複製件，原件與複製件之間是否相符、提供證據的人或證人與當事人是否具有利害關係等多方麵著手。結合電子證據的特征，在審查其真實性時，應注意以下幾個方麵的問題：
1.審查形成電子證據的係統環境
電子證據必須借助一定的電子設備來表現，通過對形成電子證據的電子設備硬件或軟件資料的分析、鑒別，查明形成電子證據的係統是否工作正常。當軟件、硬件係統遭到病毒破壞、黑客攻擊，硬件受到物理性破壞時，工作係統就不是處於正常的狀態，無法保證在這樣的工作係統中形成的電子證據是可靠的。隻有專業技術人員利用專業設備查明工作係統正常時，形成的電子證據才是可靠的，具有證據的效力。
2.審查電子證據從生成、傳輸、接收、存儲乃至最後被收集、固定的整個過程是否被刪改，其記載的信息內容是否保持了原始的狀態
電子證據從生成、傳輸、接收到存儲是一個非常複雜的數據交換過程，這一過程是在電子設備中完成的。在任何一個環節都可能存在對證據內容的刪改。通過專業的軟件設備可以查明電子證據內容的每一次變更情況，從而保證證據的準確性。同時，電子證據的調查取證是一個複雜而又有嚴格程序要求的過程，它需要專業技術人員與偵察人員的密切配合，取證工作中的一點疏漏，往往會導致無法提取到電子證據或提取的電子證據不完整，從而使其喪失證據效力。
3.審查提交的電子證據是否為原件或複製件及複製件的準確性
正如我們所知的電子證據在實質上是存儲於電子設備之中的，以一係列的電子脈衝信號流記錄信息內容的，嚴格意義上的“原件”應當是電子設備中存儲的這些無形的電子脈衝信號流。然而這種無形的電子脈衝信號流是無法被人們直接讀取的，必須通過一定的軟硬件設備來表現，所以在規定電子證據“原件”這一概念時，通過立法的強製規定，擴大“原件”的範圍，將電子設備輸出或者打印的能夠準確反映有關數據的可讀物均視為電子證據的原件。
另外，利用模擬技術形成的模擬電子證據，由於技術手段的特點，在複製過程中電子信號會有一定的遞減和損耗，原件與複製件之間存在差異，根據最佳證據規則的要求，在訴訟過程中應當提交原件，無法提交原件時可以提交經人民法院核對無異的複製件，隻有確保了準確性的複製件才具有和原件同樣的證明力。