沈約生性不飲酒，少有嗜好，雖然當時給他的待遇優厚，但是他居家仍節儉樸素。他在東田蓋的住宅，可以了望郊外。他曾寫了篇《郊居賦》。
不久加封沈約為特進官，原有的光祿、侍中、少傅諸官不變。天監十二年，沈約在任上去世，享年73歲。皇上下詔贈給他原有的官職，賜錢五萬、布百匹辦喪事，賜諡號稱“隱”。
沈約的左眼是雙眼仁，腰上有顆紫色的痣，聰明過人。他喜愛古書，藏書達兩萬卷，京城裏沒能與他相比的。小時候他孤單貧窮，曾求助於宗族人，得到了數百斛米，被宗族人侮辱，就將米打翻離去了。等到他富貴了，並不把此事放在心上，用這個宗族人做了郡部的傳。沈約有一次陪皇上宴飲，參加的人中有一個妓女的師傅是齊文惠太子的宮人。皇上問沈約認不認得來客，沈約回答：“隻認識沈家令。”沈約說完伏在桌子上流下了眼淚，皇上也感到悲哀，甚至不得不停止了宴會。沈約曆仕三代，對原來的典章製度很熟悉，見聞廣博，當時都把他當作榜樣。謝玄暉善於寫詩，任彥升寫文章嚴謹，沈約兼有他倆的長處，但是都超不過他們。沈約自負才高，對榮華富貴不感興趣，借助時勢，為清談所累。到他居三公之位時，稍稍有所建樹就停止追求，每加一官，就懇切地請求引退，但是始終不能離去，議論的人都把他比作山濤。他主持政務十多年，沒有推薦什麼人，政治上的得失，隻是唯唯諾諾而已。
當初，高祖對張稷的事有些內疚，張稷去世後，高祖就把這個心思告訴了沈約。沈約回答說：“尚書左仆射外出作邊州刺史，這已經是過去的事情了，哪裏值得再談論呢？”皇上認為他們是聯姻的關係所以這樣說，就大怒道：“先生這樣說，是忠臣應該說的話嗎？”就乘輦回內殿去了。沈約感到恐懼，仿佛失去了知覺，高祖起身時，他還是像原來一樣坐著。沈約回家，還沒有走到床邊，就憑空倒在了窗下，因此而病，夢見了齊和帝用劍割斷了他的舌頭。沈約叫一個巫人來看病，巫人說的話跟他的夢相合。沈約就叫來了道士向天表奏赤章，說禪讓的事，不是自己策畫的。高祖派禦醫徐奘給沈約看病，徐奘回去後詳細奏明了沈約的情狀。在這件事之前，沈約曾陪皇上宴會，遇到豫州進獻栗子，直徑有一寸半，皇上感到奇怪，問道：“關於獻栗子的事有多少件？”皇上與沈約各自疏理記憶，沈約（說出的）比皇上說出的少三件。沈約出宮後對人說：“這個人愛麵子，我不讓他的話他就會羞死。”皇上認為沈約出言不遜，想治他的罪，經徐勉堅決地進諫才沒治罪。這一次皇上聽說了沈約向天奏赤章的事，大怒，讓宦官去譴責了他好多次，沈約畏懼就去世了。主管部門擬了給沈約的諡號，稱為“文”，皇上說：“心中的感情沒完全表達叫做隱。”因此改變了給沈約的諡號稱為“隱”。沈約所著《晉書》一百一十卷，《宋書》一百卷，《齊紀》二十卷，《高祖紀》十四卷，《邇言》十卷，《諡例》十卷，《宋文章誌》三十卷，他的《文集》一百卷，都在世上流傳。沈約又撰寫了《四聲譜》，認為過去的詞人，千年以來都沒有領會，而他獨得於心，窮盡了其中的妙旨，自稱這是入神之作，高祖認為這書高雅但並不喜歡。皇上問周舍說：“什麼叫四聲？”周舍說：“天子聖哲，這就是四聲。”但是皇上最終沒遵用。
沈約的兒子名叫旋，到沈約去世時已經曆任過中書侍郎、永嘉太守、司徒從事中郎、司徒右長史。居沈約喪期滿後，沈旋為太子仆，又因為母喪而離職，隻吃蔬菜不吃穀物。喪服除去以後，還是拒絕吃粳米高梁，擔任給事黃門侍郎、中撫軍長史。後沈旋出任招遠將軍、南康內史，所在之處他都以清廉著稱。他死於任上，諡號叫恭侯。他的兒子實為繼嗣。陳朝的吏部尚書姚察說：過去木德將要凋謝，東昏侯即位後虐政橫流，民眾恐懼，時時刻刻都懸命水火。梁高祖仗義拯救頹潰，立誌安寧中國，運籌帷幄，把希望寄托在張良、陳平一樣有才幹的人身上。遇上了範雲和沈約，他們參予計謀，助成了帝業。讚揚範雲的機警明達，參加機務對當時做了好事；沈約才高博學，其名僅在司馬遷和董狐之下，他們都是興梁的功臣，是一代英雄、偉人。