元代度量衡，史書記載很少，推測其所用之器，當仿宋製之舊。量製的自然增長，在所難免，但其具體幅度，卻難以覓知。元尺迄今未見有傳世，史籍亦未見有明確記載，因此難知其詳。元代量器也未見有流傳至今，但《元史·食貨誌》提到：“其輸米者，止用宋鬥斛，蓋以宋一石當今七鬥故也。”這表明元代量值比宋有所增長，宋代1升容今585毫升，由此推得元代1升大致合現今836毫升。相應於度、量而言，元代權器有大量傳世。這些權器在量值上沒有明顯的倍比關係，有些權上所刻文字自銘“xx斤秤、xx錘”。這表明現存的元權都是杆秤上的秤砣，也表明元代杆秤繼承了劉承珪戥秤的傳統，開始向定量秤、定量砣的方向發展。元代秤砣的大量流傳，是元代商品經濟發達的實物見證。但定量秤砣誤差一般較大，要推算元代權衡的單位量值，可借助於刻有自重銘文的銀錠得到。推算的結果，元代每斤約合現在633克。
明朝對於度量衡製度亦相當關心，僅洪武至嘉靖(1368-1566年)的近200年間，就頒發有關度量衡的法令17次。明代資本主義已經萌芽，度量衡也有所變化，出現了營造尺、量地尺、裁衣尺三個係統。營造尺長32厘米，量地尺長32-6厘米，裁衣尺又名鈔尺，長度與洪武八年(1375年)發行的“大明寶鈔”紙長一致，為34厘米。在量器方麵，有斛、鬥、升等，衡器有杆秤、天平、戥子等，均由中央政府製樣頒發，不準有出入。其製度相當完備。
清朝是中國曆史上最後一個封建王朝，其度量衡的發展也達到了古代度量衡科學的頂端，這主要表現在對度量衡基準的選擇和製作上。清朝的康熙皇帝，對傳統的禮教、典章製度十分推崇。康熙五十二年(1713年)，他組織精通音律之士編訂《律呂正義》，重申累黍定律。清朝尺度比秦漢時增加許多，為使累黍結果既合古製，又與當時用尺一致，《律呂正義》巧妙地采用縱橫兩種不同的累黍方式，從而得出清營造尺與律尺的比例關係：“縱黍百粒得十寸之全，而橫黍百粒適當入寸一分之限。以橫黍之度比縱黍之度，即古尺之比今尺。”這裏所謂的古尺，鄖指律尺。這就是說，縱黍百粒為當時營造尺尺長(32厘米)，橫黍百粒為律尺尺長(25.92厘米)，律尺1尺折合營造尺的8寸1分。按黃鍾管長為律尺的9寸，則清代黃鍾管長恰合古尺1尺(23厘米)。尺度確定以後，量器的容積可以通過規定體積而得以確定，砝碼的輕重則可以通過規定比重而得以確定。在康熙“欽訂”的《數理精蘊》中，列有度量衡表，具體規定了金、銀、銅、鉛等金屬每立方寸的重量以及升、鬥、斛、石容積的具體方寸數。這種做法，以度量衡三者相互校定來建立相應製度，是對漢代以來度量衡科學的繼承和發展。以金屬比重確定重量基準的方法，比用粟米的參驗校正更科學。雖然這種方法會由於金屬純度問題而影響到其精確度，但對於當時的測量而言，還是能夠滿足需要的。
乾隆皇帝對度量衡單位的製訂也很關注。乾隆七年(1742年)“禦訂”《律呂正義後編》，再定權量表，規定尺度和量器仍依《數理精蘊》之製，衡重則以黃銅方寸重6兩8錢為標準，並由工部製造成標準器，頒行各省。乾隆九年(1744年)，又仿新莽銅嘉量和唐太宗時張文收所造方形嘉量圖式，精心設計和製造了清嘉量方、圓各一，範銅塗金，列於殿堂。清嘉量設計水平很高，除了能統一反映度、量、衡基準之外，還能表現出莽尺、清律尺、營造尺三者的差別，而在形製與有關數字上又與古製一致，設計製造很不容易。正是由於康熙、乾隆等對統一度量衡的重視，清初的度量衡製度，沒有出現大的混亂。
近代度量衡製度的建立
清初對於度量衡製度的製訂頗為慎重，管理也較嚴格，取得了一定成效。清代中葉，政府對於統一度量衡之措施，不再嚴格執行，度量衡製度開始紊亂，並且紊亂程度隨著清王朝的衰落而愈演愈烈，到了清末，已經發展到了無以複加的地步。各種形式的度量衡器具名目繁多，製度各異。就尺度而言，除法定的營造尺外，還有各種行業用尺，如所謂木廠尺、高香尺、裁尺、貨尺、造船尺、織物尺、算盤尺等等。量器有市斛、楓斛、糧麥斛、百料斛、廟斛、燈市斛等等。權衡器有平秤、漕秤、鹽秤、炭秤、錫秤、水果秤、茶食秤等等。吳承洛曾簡單列舉過各種名目和量值的度量衡器，度量衡三者每一類都高達幾十種之多，量值互不相等。另外，還有各種外國製度，如英製、法製、日製、俄製等。度量衡製度的龐雜混亂，漫無定規，達到了登峰造極的程度。