心心所色等法，和合假有的有情，已如上說無常一主宰的我性，而心所所色等法，亦唯是依他眾緣所成，如幻緣緣生，隻有虛假事相，亦無主宰自在的我性。然其虛假軌持體用，念念生起，相續流轉，相似有堅實自性勝用，眾生迷妄，不了解其依他緣生如幻，假有作用，即執為實有色聲等法，起常一主宰自在的法我見。而實則一切法，無論心色，都是待緣而成，依他而起一一作用。皆由互相資助，相信相待，顯現存在，相似有一實體，實則堅實自性了不可得。要是諸法有堅實的自性，就不應該借緣而成，依他以起，應該是恒時常住，自力獨存，但以常識的觀察，道理的推征，聖教的印證，任何一法，無論為心為物，都無不是依賴他緣而存在者，緣聚以生緣散則滅。決無常一主宰、自在不變的固性存在，所以諸法亦是無我的。
五位法中，色心心所，是實法尚無我性存在，非色不相應行，既是心心所色三法的分位，更明顯易知的不會有我性的存在了。無為法是諸法的真如實性，眾生從無始已來即未觸見過，更不會有眾生計執的我性了。
問：如上所說，一切諸法皆是虛假，無有主宰自在的我性，則諸法中應當無假實種種的差別，何以前說色心心所等法時，又言有實有假？答：此言虛假如幻如夢，乃推入真門空理而談，若依世俗諦道理門說，自有種子所生諸法，多名為有為實法。此處惟就真門空理而言，皆名假法，故與依世俗諦道理門說有假有實全不相達。
2.五位唯識
既然五位百法都無人法二種我性，為何現見世間有諸有情，人畜等之形狀宛然當眼？而五蘊法體，事相顯然，色可見，聲可聞，乃至識能分別了知，體性作用，顯然存在。若全皆虛假，諸如人法相狀作用等，都不應該存有，五位有法亦無可說了。解此疑惑，就須明了唯識的意義。所謂色心心所等是虛假幻有，有人法的我性，隻是破除情計增益的二種我性實執，並不撥色心心所等法依他緣生的作用。雖然人法的我體實性求不可得，但五蘊和合的假補特伽羅，與依他眾緣所成，有虛假事相作用的法，卻並非全無，都宛然存在。怎樣存在的呢？就是假我假法，俱是依識所變。前文所說的五位百法，皆從有情自心現起。總要而言，以熏習與轉變的兩種道理，五位百法之總別相狀，人法的作用，一切的一切，都顯現起來了。所以五位百法雖然都無人法的我性，由唯識的熏習與轉變的兩種道理，而業果不亡，亦無紊亂，人法諸相的總別相狀作用，宛然顯現存在。而五位百法何以唯識呢？如《成唯識論》卷七說：一識言，總顯一切有情各有八識，六位心所，所變相見，分位差別，彼空理所顯真如。識自相故，識相應故，二所變故，三分位故，四實性故。如是諸法，皆不離識，總立識名。五位法中，第一位心法，是識的自相，自相即是自體。這就是說，八個心王，是識的自體相故以為唯識。第二心所法，決不能離開心王單獨存在，凡有心起，心所即起而與心王相應，助成心王分別緣境，所以心所是相應故以為唯識。第三位色法，為心王心所二種所變的相分。心王心所為能變，根塵等色為所變，故色法是識所變故以為唯識。第四位二十四不相應行法，是心心所色三種的分位，以此二十四法不能自起，借前心心所色三位差別假立故是分位。前三位法是實，此即假法，故不相應行是三分位故以為唯識。第五位無為法，是識實性，識性即真如。以真如為識性的別名，如《唯識三十論》說：“此諸法勝義，亦即是真如，常如其性故，即唯識實性。所以無為是識實性故以為唯識。”前文曾經說過，五位百法，包括一切法盡。但五位百法如《成唯識論》所說，又皆不離識，故五位百法皆是唯識變現。
總上所立五位百法前四位為事相，後一位為理性，而五法事理皆不離識，故一切法唯識。
如是一切法中，雖無人法的我性，以諸法歸有為之主，一切皆為識故，因果不亂，作受不失。了知一切法皆從自心現起。諸法如夢幻義忽然現前，則無始妄心息故，實我法執速除，增益損減，一異等一切妄執，皆得止息，無分別智忽然現前，冥合一真法界理，而證得無生法忍，入聖者位，生如來家。
二、五重唯識觀
1.遣虛存實識
三界內外，天地之間，動物、植物、礦物、力能、空間、時間，無論是有精神作用者，無精神作用者，有漏有為法，無漏有為法，無漏無為法，所有一切，法與非法，都為遍計所執性、依他起性、圓成實性所攝。沒有哪一種法是超出三性之外，不為三自性所攝的。故《解深密經》，《阿毘達磨法蘊足論》等說，一切法者，即三自性，謂遍計、依他、圓成。以三自性可以說明宇宙萬有、森羅事相、染淨虛實、有漏無漏、有為無為，其所以顯現生起。有情在三界中生死流轉，業果因緣、依正果報、福德智慧，一切一切，既沒有一法超出三性之外，也都可以有條不紊地闡說清楚。
（1）遍計所執性，即周遍計度的虛妄分別性。我們眼睛看見的青黃赤白、長短方圓等的色法，耳朵聽到的可意不可意俱相過的聲音，鼻子嗅到的好惡平等的香氣、舌識嚐到的苦甜、鹹淡、甘辛等百味，身識所緣的滑澀、輕重等感覺，乃至第六識所緣有質無質的法境，起我法二執，自覺不自覺地都以為自性固實、主宰自在，而欲趣向逃避占有遠離。確切地說，這都是迷執的心理虛妄，分別的顯現。其過程是由第六、第七識等的能攀緣思慮的虛妄分別，即一切能起遍計於依因托緣的依他性，依他起的人物事相上，周遍計度而起的遍計所執心性。以佛教的義理來講，即於所緣的五蘊、十二處、十八界等一切義理，起我法二執的自性及差別義，都是心外非有的法，隻有能計度的心體，計有之物，隨能計度虛妄分別心所計的無體物，但在妄情識上，亦有種種形相。這種所妄計的自性體與差別義（都是心外非有的法，隻有能計度的心體所有之物，隨能計度虛妄分別心所計的無體物，但在當妄情識上亦有種種形相。這種所妄計的自性與差別義），以道理聖教去推求，都是不可得的，所以是情有理無，總名遍計所執性，於中能遍計識，依護法義，唯第六、第七，心品執我法者，是能遍計。