綜上之說，可以了知佛性思想的源流及發展，原始部派佛教，不說佛菩薩以外之成佛，故亦不說一切眾生悉有佛性之旨。但據世親之《佛性論》卷一，說一切有部等主張眾生無先天之“性得佛性”，但有後天依修行而得之“修得佛性”。依此，分決定無佛性、有無不定、決定有佛性三類眾生。對此，分別說部以空為佛性，一切眾生悉以空為本，從空所生，故主張本性皆是佛性。而同書卷二複將佛性分為三位（稱三位佛、三佛性），即：（1）住自性佛性，眾生先天具有之佛性。（2）引出佛性，通過佛教修行所引發之佛性。（3）至得果佛性，至佛果始圓滿顯發者。中國和日本佛教諸宗派，於此有諸說而互相論難，除三論宗外：
天台宗立正、了緣之三因佛性說，即：（1）正因佛性，一切眾生本具三諦三千之理。（2）了因佛性，觀悟佛理所得之智慧。（3）緣因佛性，能起智慧之緣的所有善行。其中，前者屬性（先天），後二者屬修（後天），但本來性修不二，圓融無礙，三佛性是非縱非橫（非前後繼起，亦非同時並列）。又三因佛性加上果性（菩提之智德）、果果性（涅槃之斷德），亦稱五佛性。以其因果不離，果位互具。
華嚴宗以眾生之佛性圓滿具足一切因果性相，有情具足成佛之可能性為佛性、覺性，以此與非情具有真如之理稱為法性加以區別，故主張成佛唯限於有情。
密宗以森羅萬象悉是大日如來之法身，故立悉有佛性之說。
法相宗說有二種佛性，即：（1）理佛性，所有存在本體之真如理。（2）行佛性，含藏於各人阿賴耶識中成佛之因無漏種子。具理佛性，而不具行佛性者，亦不得成佛。又立五種佛性說，即菩薩、聲聞、緣覺證悟所得之三種定性、不定性及永不能成佛之無性；主張唯菩薩定性與不定性者具有行佛性。
禪宗雖言證悟眾生本來之麵目，但卻否定執迷佛性有無等問題，故有“狗子佛性”等公案，乃表超越存在的佛性之實態。
淨土宗承認理佛性之說，然亦有加以否定者。日本淨土真宗主張成佛依阿彌陀佛之本願力，謂如來給予眾生之信心為佛性，引即信心佛性說。