上述三種熏習（無明熏習、妄心熏習、妄境熏習）皆因染法相續，而不得清淨，故總稱“染法熏習”。
4.淨法熏習，此熏有二，一為真如熏習，一為妄心熏習。（1）真如熏習，即相信己身具有真如法，能冥熏無明；而以冥熏為因緣，使妄心厭離生死之苦，欣求涅槃之樂。又分為兩種：①自體相熏習，謂真如本來具足無漏之法，有不可思議之業用，亦為智境界之性，此性常熏習眾生之心，令眾生厭離生死而欣求涅槃，並深信本具之真如性，從而發心修心。②用熏習，即借諸佛菩薩的外緣之熏力，而令眾生之善根增長。（2）妄心熏習，發心修行之凡夫、二乘人及菩薩等，以厭求之妄心還熏習於真如，增其勢，令起種種方便隨順之行，而滅盡無明；以無明滅，心相皆盡，得涅槃而成自然淨業，以此熏習而淨法不斷。亦分為兩種，即分別事識熏習及意熏習。
熏習義尚有本有新熏與生熏之別兩個問題。關於本有新熏，有問：種子為是本有，為是新熏？先賢們解答此問，或主一偏。言本有者，謂無始以來，異熟識內法爾而有，生蘊、處、界差別。佛陀依此，說諸有情無始時以來有種種界，因如惡叉聚，法爾有一切種子，與第八識一時而有；從此能生前七識現行，現行頭上又生種子。言新生者，謂無始時以來，數數現行熏習而有，名新熏故。佛陀依此，說有情心染淨諸法所熏習故，無量種子之所積集故。今依十大論師中之護法正義，有漏無漏種子，皆有新熏本有，合生現行，亦不雜亂。若新熏遇緣，即從新熏生；若本有遇緣，即從本有生。若偏執唯從新熏，或偏執但是本有，二俱違教。若二義俱取，善符教理。
關於生熏之別，有問：本識雖無力能熏自種，而能親生自種，既不能熏自種，如何能生自種？熏與生又有何別？熏者，資熏，擊發之義。生者生起，從因生因之義。謂本識等雖無力資熏擊發自種之力，而有親生自種之義。如有種性者，法爾本有無漏種子，雖有生果之能，若不得資糧、加行二位有漏諸善，資熏擊發，即不能生現；須假有漏諸善資熏，方能生現。又如本識中善染等種，能引次後自類種子。雖有生義，無自熏義。如穀麥等種，雖有生芽之能，若不得水土等資熏擊發，亦不能生起現行。本識雖有生種之能，然自力劣，須假六七識與熏方生。由是義故，本識等雖非能熏，而能生種，故與親種得為因緣。
四分與三量相攝之關係如何？所謂三量，即能量、所量與量果。所謂量，有廣狹二義。狹義指認識事物之標準、根據；廣義而言之，則指認識作用之形式、過程、結果及判斷知識真偽之標準等。印度自古以來，在認識範疇中，一般將量知對象加以認識論證，泛指為“量”。此量知之主體，稱為能量，或量者（梵文Pramātr）；被量知之事物，稱為所量（梵文Prameya）；量知之結果，或了知其結果，稱為量知（梵文Pramiti）或量果。以上三者稱之為“三量”。茲將三量各舉譬喻，並將其與外道、小乘、大乘、唯識等相當之部分。
在唯識學上，見分隻能作能量，能緣外境相，不能作量果及所量；相分隻能作所量，是一種境相，隻能被認識、了別，非能量及量果；自證分則不其然，不但可以為能量，亦可作為量果。證自證分亦可作為能量及量果；見分如尺，相分如布匹，自證分如尺寸數量，證自證分明其結果之正確。
第八識由於善惡業力的資助生某果時，內變為種子、根身，外變為器界。所以此變自所緣，能緣的見分仗之而生起。這能緣所緣，皆是自識體的作用。此種子及根身，皆是第八識所執受。將它們攝為自體，保持使不變壞。彼此相近，共同安危。種子、根身為內境，器世間為外境。即依親因緣及業增上緣力，識自體生時，內變為種子沒有根身外變器界以為所緣，如是以上內外三境，為八識之親所緣緣。但雖說是所緣，並非如前六識有分別緣慮之作用，隻是依變即緣義。
又此識的見分行相，極其微細難可了知。所緣相分中，執受境即種子五根身，微細難知，非執受境即器世間，量大難知。
上述為四分與三量的相攝關係，然依不同之方法去量知對象，即產生不同之量果，大別之，有下列數種：
1.現量（梵文Pratyaksapramānz），不含比知推度，僅以知覺進行認識作用，或依前五識，或依與前五識同時而起之意識，或依自證分、定心等無分別心而來。例如眼識認識色境時，即為現量。
2.比量（梵文anumānaPramāna），係以既知之事為基礎，比知未知之事實，乃經由推理而進行認識作用，不與前五識同時而起，係依散地之意識而來者。例如見煙則推知火之存在。比量又可分為二種比量、三種比量、五種比量。
二種比量：（1）自比量，即為自己而比量；以智為本質，此時未必需要表之於他人。（2）他比量，即為他人而比量；經由自比量所認識之智，再語之他人時之比量。
三種比量：（1）自比量，為自己所認可而不為他人所認可作為因（理由根據）之比量。（2）他比量，為他人所認可而不為自己所認可作為因之比量。（3）共比量，為自己與他人共同認可之比量。
五種比量：（1）相比量，例如見煙相而推知火之存在；即為有關事物外相之比量。（2）體比量，例如見現在之體而推知過去、未來之體；此乃有關事物自體之比量。（3）業比量，例如見草木動搖，則知風之存在；即由事物之動作，而推知該作用之依據。（4）法比量，例如由無常而推知苦之存在；此因法與法之間具有相互依存之密切關係，故根據一事即可推知他事。（5）因果比量，由因推知果，或由果推知因。
3.聖教量（梵文āgama或s＇abda），亦被稱為正教量、至教量、聲量、聖言量，即為篤信聖者之教說真實無誤，而依靠聖教來量知種種意義。
4.非量，又作似量，即似是而非之現量與比量，故又稱為似現量、似比量。例如衣由色等四塵構成，本身並無實體可言，然由於分別見解，遂認為“衣乃實在者”，此即似現量。又如遠見塵、霧等，卻錯以為煙，並據此錯覺而證明有火存在，此即似比量。以上均為似是而非之現量及比量。