不過明清的佃仆製已處於不斷衰落的過程中，尤其是清中葉以後，佃仆對主家的隸屬關係出現了鬆弛的趨向。如服役範圍從無休止的“分外之征”趨向相對固定化，並需支付一定的酒資、小費。佃仆的數量日益減少。部分佃仆用贖身的辦法，解除了與地主的主仆名分。同時，封建法律也有所變化。清雍正五年上諭，要將皖南伴俏、世仆中“文契無存，不受主家豢養者”開豁為良，開始了一個在法律上縮小世仆範圍的過程。嘉慶十四年(1809)，皖南被開豁為良的世仆達數萬人。道光五年(1825)，又下達過類似的上諭。清末，佃仆一般隻存在於一些強宗大族和縉紳地主的宗族內；民國年間，則多為封建宗法勢力強固的宗族之祠堂所擁有，私人占有者已屬罕見。
明清時期，地租形式也發生了較大的變化。實物分成租仍流行於全國，但已經開始了從分成租向定額租的全麵轉化。定額租製下的主佃關係，一般隻是一種單純的納租關係。這是當時租佃製度的主流。勞動地租隻在個別地區殘存。有的地方，地主欲求佃農送租上門，已須支付一定的“腳力錢”。地主不再指揮生產或關心生產的好壞，以致出現了“惟知租之人而不知田之處者”的現象。在商品貨幣經濟的刺激下，從定額租轉化而來的由以折納實物的貨幣租也有了一定程度的發展。但當時的貨幣租仍屬於封建地租的範疇，在各類地租形式中所占比例也不大。至20世紀30年代，在經濟比較發達的江蘇省，貨幣租約占地租的百分之十六；浙江、安徽均為百分之十。
商品經濟發展、人身依附關係削弱和定額租的流行，帶來了押租製與永佃權的發展。
押租製就是佃客在開始承佃田地之時向地主交納一定數量押金的製度。明朝萬曆年間(1573～1620)，福建的個別地區已有實行押租的記載。清初，押租製漸次流行，至乾、嘉年間(1736～1820)，已遍及十八個行省。押租一般具有兩種涵義，其一，它代表一定的地權，故又稱“頂首”、“基腳”等；其二就是作為地租的保證金，所以有的地區稱之為“信錢”、“押腳”、“墊金”等。“若有欠租，便可扣抵”，就這一點說，押租製的性質與當時流行的預租製相近。押租製發展的主要原因，是由於佃農抗租鬥爭激化，租佃間人身依附關係鬆弛化，使單純靠超經濟強製實現地租遭到了嚴重困難，因而需要經濟關係作保證。押租額一般都視地租額為高低，但各地區並不一致，有的地方押租額高出地租許多。押租一般交納貨幣。由於交納押租使佃農損失了一定的利息，以及地主常常抑勒佃農加押，或當佃農退佃時拒絕退還押金，即所謂“爛押”，押租製使佃農所受的經濟剝削加重了。民國年間，押租製仍在各地普遍流行。
所謂永佃權，就是對同一塊土地，在地主對它擁有田底權(所有權)的同時，由佃農擁有它的田麵權(使用權)。地主在買賣田底時，不能隨意更換這塊土地上的佃農，而佃農對土地的使用，以及在轉讓田麵時，也不應受地主的幹預。永佃權出現於宋代，元代也有個別的記載，但它的普遍發展，並形成一種較為廣泛流行的製度，還是在明中葉以後。清代在南方經濟較為發達的江蘇、江西、福建、廣東、浙江、安徽等省盛行此製。民國時期，永佃權更為發達。1936年，江蘇省永佃農占佃農總數的百分之四十，浙江占百分之三十，安徽占百分之四十四。各地對永佃權稱謂不一，如稱之為田麵、田皮、田腳、水苗、水租等等。永佃權的形成是通過買賣田皮、田麵、佃業、質業，向地主交納押金，及農民典押或出賣田底而保留田麵等等而來。有少數富農為了擴大經營，也常常通過價買獲得大批土地的永佃權，雇工經營，榨取剩餘勞動。另有一些人，甚至包括紳監土豪，他們買取永佃權，是為了將土地轉手出租，從事地租再剝削，這就是典型的二地主了。但多數貧苦佃農爭取永佃權，是為了維持簡單再生產，發展個體經濟。永佃權的發展，雖然並未減輕佃農所受的經濟剝削，卻使他們基本擺脫了地主對生產過程的幹預，爭得了較為穩固的耕作權，在地權集中、佃權競爭激烈的情況下，有了反對地主增租劃佃的手段，從而也就贏得了更多的人身自由。
明清以來，隨著佃農隊伍的擴大和自由租佃關係的發展，封建政府逐漸介入、幹預租佃關係，代表地主階級集中行使對佃農的控製權。一方麵，早在元朝，封建政府就曾詔令私人地主蠲減地租。在清初，類似的蠲減地租的詔書頒發次數更多，意在推行與民休息政策，防止私人地主竭澤而漁，激化階級矛盾。另一方麵，行使保障私人地主經濟利益的政策。南宋末年的法令中，已有“十月初一已後，正月三十日已前，皆知縣受理田主詞訴，取索佃戶欠租之日”的規定。雍正五年清廷在禁止地主責打佃農的同時，又以法律形式規定了佃農欠租的刑事處分條文。此後各地方政府發布禁止佃農拖欠、拒交地租的告示，用政權的力量協助私人地主催租的現象日漸普遍。太平天國失敗後，蘇浙地區出現一種叫做“租棧”的組織，有的為官私合辦，有的由豪商地主出麵，官府為幕後支持者，聯合某一地區的地主，置田業公會，設收租總棧，統一向農民收租。每年從租糧中抽出一部分上交地方政權，作為他們協助收租的報酬。民國時期，租棧組織仍是蘇浙地區向農民實行超經濟強製的主要工具。這是政權力量介入租佃關係的一種具體形式。
從總體看，1949年以前，中國的租佃製度並沒有全麵進入單純納租關係階段，資本主義性質的租佃關係尚未發生。土地改革運動後，中國內地的封建租佃製度被取消。
常平倉
中國古代政府為調節糧價，儲糧備荒以供應官需民食而設置的糧倉。常平源於戰國時李悝在魏所行的平糴，即政府於豐年購進糧食儲存，以免穀賤傷農，歉年賣出所儲糧食以穩定糧價。範蠡和《管子》也有類似的思想。漢武帝時，桑弘羊發展了上述思想，創立平準法，依仗政府掌握的大量錢帛物資，在京師賤收貴賣以平抑物價。宣帝元康年間連年豐收，穀價有賤到一石五錢的，“農人少利”。大約就在這以後，大司農中丞耿壽昌把平準法著重施之於糧食的收貯，在一些地區設立了糧倉，收購價格過低的糧食入官，以“利百姓”。這種糧倉已有常平倉之名。當時邊疆金城(今甘肅永靖西北)、湟水(今青海湟水兩岸)一帶，穀每石八錢，耿壽昌曾在這帶地區收購穀物四十萬斛。五鳳元年到二年(前57～前56)，耿壽昌鑒於過去每年從關東向京師漕穀四百萬斛，用漕卒六萬人，費用過大，建議從近處的三輔(今陝西中部地區)、弘農(今河南西部和陝西東南部地區)、河東(今山西沁水以西、霍山以南地區)、上黨(今山西和順、榆社以南、沁水流域以東地區)、太原等地糴穀以供京師，可省關東漕卒過半。這一措施收到成效後，耿壽昌又於五鳳四年奏請在邊郡普遍設置糧倉，“以穀賤時增其賈而糴，以利農，穀貴時減賈而糶，名曰常平倉。民便之”。常平遂作為一項正式的製度推行於較大範圍之內。元帝初元五年(前44)，在位儒臣借口關東連年災荒，常平倉與民爭利，遂與鹽鐵官、北假(今內蒙古河套以北、陰山以南地區)田官等一同廢罷。事實上，常平倉雖為利民而設，但施行既久，也確有“外有利民之名，而內實侵刻百姓，豪右因緣為奸，小民不能得其平”的弊病。東漢明帝永平年間又擬設置常平倉，劉般即上述理由反對，因而作罷。
戶等製
中國一些封建王朝在登記戶籍時，按編戶資產多少，劃分為不同等級，以作為稅役多少輕重的標準和依據。漢代已依據各戶財產多少，分等征稅，但沒有戶等製的明文記載。自三國時曹魏至北齊、隋、唐，實行九品戶和九等戶製。唐朝將上上戶、上中戶、上下戶和中上戶四等作為“上戶”，中中戶、中下戶和下上戶三等作為“次戶”，下中戶和下下戶二等作為“下戶”。按戶等的差別，分攤戶稅、地稅等。大致在五代時，開始出現五等戶製。宋承五代遺製，將鄉村主戶，按財產多少，劃分為五等，一、二、三等戶為上戶，其中，二、三等戶也稱中戶，四、五等戶稱下戶。坊郭戶則分成十等。宋朝規定，每隔三年，各地鄉村要重造五等丁產簿。鄉村劃分戶等的財產標準，南北各地極不一致，大致依據：①各戶家業錢的多少，家業錢額是將各戶的田地與浮財折算而成；②各戶稅錢和稅物的多少；③各戶田畝的數量；④各戶播種種子的多少等。但歸根結底主要還是依土地多少和肥瘠以定高低。宋代戶等製遠比前代完備，在賦役製度上的重要性更為突出。兩稅的支移和折變，規定先富後貧，自近及遠的原則，往往上戶從重，下戶從輕。其他如和買、義倉、科配等等都有類似規定。在災年則往往按戶等高低，首先蠲免或減少下戶的賦稅，並對下戶實施賑濟。在差役方麵，北宋前期和中期，第一、二等戶任耆長、戶長、裏正、衙前，第三等戶充弓手，第四、五等戶充壯丁，也體現了戶等愈低，差役愈輕的精神。攤派夫役，有時也按戶等規定各戶出夫多少。封建國家實行戶等製是從維護地主階級長遠利益出發的，目的在加強對廣大農民的控製，增加更多的賦役。但在實行的過程中，首先破壞戶等製的正是地主土豪。大家富戶勾結地方官吏，往往將賦役轉嫁給貧民下戶。
金元兩代也繼承了這一製度。金世宗大定年間(1161～1189)，遣使驗各戶土地、牛具、奴婢之數，分戶為上、中、下三等。有些地方又析每等為三級，故又稱三等九甲戶，或九等戶。元世祖至元元年(1264)於北方行三等九甲之法。後又推行於南方。科差、雜泛差役、和買、和雇等均按戶等承擔。簽充軍、站戶亦以戶等為依據。但元朝戶籍製度混亂，沒有定期的戶籍登記和調整戶等的規定。戶等名不副實。元朝末年，戶等製名存實亡。
明朝，戶等仍是各地編發徭役的依據，但明政府對戶等的劃分及調整始終沒有統一的規定。隨著徭役負擔逐漸向土地轉移，戶等製亦慚趨消亡。
雜泛差役
元、明時期與正役相區別的徭役製度。雜泛主要是征發人夫從事造作官舍、治理河渠、修建城池、遞運官物等項力役。差役源於宋代的職役製度，有裏正、主首、隅正、坊正、倉；官、庫子以及弓手等項職役。元代前期，雜泛差役的承擔者是漢人和南人中的民戶，還有一部分色目人民戶。因為享有免役特權的戶較多，不少民戶亦設法避役。因此元政府於大德七年(1303)發布詔令：原來不當役的軍戶、站戶、匠戶、打捕鷹房戶和投下戶，也要一律當役。這種擴大應役範圍的做法引起了較大的爭議，實施時也變化無常。
雜泛差役的差充是根據資產、丁力進行的。至元二十八年(1291)頒布的《至元新格》規定：根據民戶貧富情況，按人丁多少，開具姓名，編定差科簿，作為編發力役的依據。差役的編發標準是“各驗丁產，先盡富實，次及下戶”，應役對象主要是地主和一部分富裕的自耕農。元朝一代，對力役的服役期限並無明確規定，各級官吏任意簽發力役，毫無限製。沉重的力役主要由中下等人戶承擔。對於可以借機把持地方、魚肉鄉裏的裏正、主首等役，地主豪強千方百計營求；若無利可圖的差役，則用投充或詭名析戶的方法避役，使差役負擔轉嫁於中下等人戶。至於庫子、倉官等，因其既無利可圖，又極易出現虧空，所以上至富家大戶，下至自耕農，皆設法躲避。元朝中後期，賦役不均的情況不斷發展，成為元朝社會矛盾加深的一個側麵。