綏遠地區相當於今天內蒙古自治區的中西部，從今天的行政區劃來看，包括烏蘭察布盟、伊克昭盟、巴彥淖爾盟、包頭市、呼和浩特市。清代，這一地區分屬烏蘭察布盟、伊克昭盟（屬內劄薩克旗）、歸化城土默特旗以及察哈爾右翼諸旗（屬總管旗）。
清代，歸綏道隸屬於山西。清初，清廷實行封禁政策，嚴禁內地漢人到口外移墾，到了後來，迫於內地的人口壓力與災荒的不斷發生，禁令漸弛，內地貧民不斷湧入河套地區。這種移民現象給人口流入地帶來了一係列社會問題，為了解決這些問題，加強統治，清廷陸續增設了相關的管理機構。例如，雍正十二年（1735），清廷在薩拉齊置協理筆貼式，乾隆四年（1739）置協理通判，並在歸化城東北築綏遠城，設綏遠城廳，為綏遠將軍駐所，綏遠也因此得名。乾隆六年（1741），隸於山西歸綏道。清中葉以後，口內農民赴後套者越來越多，光緒八年（1882），山西巡撫張之洞奏請，在大同府之豐鎮、朔平府之寧遠設立豐寧押荒局，使來墾者必向官家交納押荒銀後，始能按照所發之押荒條墾地。光緒十年，清政府將豐鎮、寧遠兩廳升為直隸廳，隸屬歸綏道。同時，將薩拉齊同知改為撫民同知，將清水河、和林格爾、托克托三理事廳改為撫民理事通判，均隸屬歸綏道。光緒二十九年（1903）增設五原廳。
“中華民國”成立後，北洋軍閥政府對地方的官製和行政區劃作了改革。清代歸綏道所轄薩拉齊、五原廳仍歸山西省管轄。改歸綏道為觀察使，將廳改為縣。1912年4月，“中華民國”政府沿襲清製，設綏遠將軍，節製綏遠地區的十二撫民廳、烏蘭察布盟六旗、伊克昭盟七旗及歸化城土默特旗。十二撫民廳的行政仍由山西省歸綏道行使。同年5月，歸綏道改為歸綏觀察使，十二撫民廳改為縣。1913年，裁歸化城副都統及觀察使，“以綏遠城將軍為行政長官，與山西省分縣而治”，設置綏遠特別區，以歸綏道12縣及烏昭2盟劃入，歸綏遠都統統轄，設置軍政、民政兩廳分理軍政、民政事務。1914年，民國政府成立綏遠特別行政區，改綏遠城將軍為綏遠都統，將薩拉齊、五原縣隸綏遠道。“並增設道尹以任民政，增設土默特旗總管以輯蒙眾。”同年，察哈爾特別行政區建立，中央政府將原屬於察哈爾的豐鎮、興和、涼城、陶林四縣劃入察哈爾特別行政區。1925年設臨河設治局。1926年8月，閻錫山占據綏遠以後，實行所謂“晉綏一家”政策，閻錫山的勢力由山西擴充至綏遠。
國民黨政府為削奪蒙古盟旗自主自治的權利，完全無視蒙古人民的切身利益和民族要求，1928年9月17日，國民黨政府發表《改熱河等區為行省通電》，宣布“熱河、察哈爾、綏遠、青海、西康均為改省”。綏遠改省後，轄今內蒙古自治區烏蘭察布盟、伊克昭盟、巴彥淖爾盟東部及呼和浩特市、包頭市等地，徐永昌為第一任省主席。通過改省設縣，國民黨政府將蒙古盟旗置於省縣當局的控製之下。至此，“內蒙古之名詞實已不當存在”，蒙古各盟旗的法律地位變得模糊不清。
1929年，綏遠省麵積為30.4萬平方公裏，人口為212.4萬。1946年統計麵積約34.7萬平方公裏，人口約208萬，轄2市，20縣，省會設在歸綏縣。1949年新中國成立後，綏遠省麵積有所縮減，1950年5月統計為22萬平方公裏。綜合起來看，民國時期綏遠地區的行政區劃變動是比較大的。到1929年綏遠省政府成立前後，綏遠特別行政區共有16個縣、2個設治局。1954年3月6日綏遠省、內蒙古自治區正式合並，撤銷綏遠省建製和綏遠省人民政府。原綏遠省轄區統一由內蒙古自治區人民政府領導。